ค้นหา

 การออกแบบและสร้างแคโทดสำหรับระบบปลูกฟิล์มบางอาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง
รหัส : 01190450
โครงการ : การออกแบบและสร้างแคโทดสำหรับระบบปลูกฟิล์มบางอาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง
Project : Design and Construction of RF Magnetron Sputtering Cathode for Planar Magnetron Sputtering System.
ประเภทการวิจัย : การวิจัยประยุกต์
งบประมาณ : -
ปีที่สิ้นสุด : N/A
สาขา NRCT : สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์
หน่วยงานระดับกรม : คณะวิทยาศาสตร์
หน่วยงานระดับกระทรวง : สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง
ขอบเขตการวิจัย : ออกแบบและสร้างแมกเนตรอนแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบางอาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง แมกเนตรอนแคโทดที่สร้างขึ้นประกอบด้วย แม่เหล็ก ระบบหล่อเย็นและฐานรองเป้าแม่เหล็กที่ใช้เป็นแม่เหล็กนีโอไดเมียม เคลือบกันสนิมด้วยนิเกิลแทนการใช้แม่เหล็กเฟอร์ไรท์แบบทั่วไป
วัตถุประสงค์ :
-
นักวิจัย :

วราวุฒิ เถาลัดดา




สำนักงานคณะกรรมการวิจัยแห่งชาติ (วช.)
ที่อยู่: 196 ถนนพหลโยธิน แขวงลาดยาว เขตจตุจักร กทม. 10900
ดาวน์โหลดคู่มือการใช้งาน  อีเมลล์ : ridm@nrct.go.th